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甲烷/熱式質(zhì)量流量計 型號:CS200A

甲烷/熱式質(zhì)量流量計 型號:CS200A

簡要描述:
甲烷/熱式質(zhì)量流量計 型號:CS200A

技術(shù)參數(shù)
類型: CS200-A
閥類型:常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM)或常閉
流量規(guī)格(N2):(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
準確度:±1.0% S.P. (≥35% F.S.)

產(chǎn)品時間:2022-06-28

訪問量:1191

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

生產(chǎn)地址:

甲烷/熱式質(zhì)量流量計 型號:CS200A

CS200A質(zhì)量流量控制器&流量計
CS200A氣體質(zhì)量流量控制器,采用傳感器和溫度補償技術(shù),因此產(chǎn)品精度可以達到設定值1%以內(nèi),并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應不同的環(huán)境溫度。同時,產(chǎn)品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加岀色。全量程范圍內(nèi),CS200C產(chǎn)品快可在800ms以內(nèi)達到設定流量,響應時間將使用過程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差小化,所需流量更加。
• 采用的恒功率傳感器原理,在溫度變化時進行相應的補償,從根本上抑制了流量計的零漂現(xiàn)象,保證了傳感器線性。
• CS200產(chǎn)品嚴格按照SEMI標準生產(chǎn)制造,尺寸符合通用的SEMI標準。
• CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字,模擬輸入輸出。
• 產(chǎn)品支持RS485,DeviceNet通訊方式。
• 具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強大的免費客戶端使用軟件。
CS200A,甲烷,2SLM,8mm卡套,RS485通訊,大工作壓力0.45MPa,壓差0.05-0.35MPa
甲烷/熱式質(zhì)量流量計 型號:CS200A

技術(shù)參數(shù)
類型: CS200-A
閥類型:常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM)或常閉
流量規(guī)格(N2):(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
準確度:±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)
線性:±0.5% F.S.
重復精度:±0.2% F.S.
響應時間:≤ 1sec
工作壓差范圍:
0.05~0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM
0.1~0.35MPa 10<流量規(guī)格≤30SLM
0.2~0.45MPa 30<流量規(guī)格≤50SLM,<0.02 MPa
大工作壓力:0.45MPa
溫度系數(shù):零點: ≤±0.05% F.S./℃;
調(diào)節(jié)時: ≤±0.1% F.S./℃ 流量規(guī)格≤30SLM
調(diào)節(jié)時: ≤±0.2% F.S./℃ 流量規(guī)格>30SLM
耐壓強度:3MPa
漏率:1×10-10 Pa·m3 / sec He
密封材料:氟橡膠
工作環(huán)境溫度:(5~45)℃
輸入信號:數(shù)字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模擬:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA
輸出信號:數(shù)字::RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模擬:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA
零漂:在沒有零點校正時<0.6%F.S./年
電源:±8 ~ ±16 VDC (雙極)或 +14 ~ +28 VDC (單極)
表面化學成分:常態(tài)
表面粗糙度:25 Ra
標準接頭形式:
雙卡套 φ6;雙卡套 1/4′′;雙卡套 3/8′′;VCR1/4′′陽接頭;雙卡套φ3;
雙卡套 1/8′′;VCO 1/4";φ6(內(nèi))x1 軟管接頭; φ5(內(nèi))x1.5 軟管接頭;
φ4(內(nèi))x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm;A 型密封接頭;
電源接頭形式:D 型 9 針陽接頭;D 型 15 針陽接頭;DeviceNet 接頭; ProfiBus 接頭;模擬接頭

重量:1 Kg

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